低壓力化學(xué)氣相沉積儀項目已具備招標(biāo)條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計量測試技術(shù)研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物

1.2 招標(biāo)編號：0779-21400316A022

1.3 設(shè)備技術(shù)性能：

1.3.1 該爐管設(shè)備包含高溫氧化和低壓化學(xué)氣相沉積2根水平爐管分別為：干氧化和濕氧化生長氧化硅爐管、可控比氮化硅和低應(yīng)力氮化硅爐管，同時預(yù)留額外2根爐管架構(gòu)用于工藝升級（分別用于多晶硅和TEOS氧化硅沉積工藝），四根爐管之間的控制相互不受影響，關(guān)閉任意一套控制，其它三套不受任何影響；

1.3.2 每根爐管加熱器選用APM加熱元件，最高加熱溫度1300℃；

1.3.3 氧化爐管配置SiC爐管，滿足高溫氧化要求。

1.4 數(shù)量：1臺。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后210天內(nèi)完成交付驗收。

1.6 項目現(xiàn)場：中國北京海淀（北京長城計量測試技術(shù)研究所）安裝現(xiàn)場。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書。

2.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1 如有疑問，請致電航空工業(yè)電子采購平臺服務(wù)熱線400-890-0880。

3.2 招標(biāo)文件售價800元，售后不退。

3.3 投標(biāo)人必須在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)相關(guān)說明）。

4. 投標(biāo)文件的遞交

4.1投標(biāo)文件遞交的截止時間（投標(biāo)截止時間，下同）為2021年06月07日09時30分，投標(biāo)人必須在此時間前將加密的電子版投標(biāo)文件傳至航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)（ /rest/index）并在此時間前現(xiàn)場遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件。

4.2 紙質(zhì)版投標(biāo)文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。

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