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8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之氧化清洗濕臺、標(biāo)準(zhǔn)清洗濕臺、硫酸去膠濕臺、有機去膠濕臺、BOE濕臺 國際招標(biāo)公告(2)

   日期:2024-04-29     來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)    作者:dlztb    瀏覽:0    
核心提示:蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易 對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標(biāo),于2024-04-29在公告。本次招標(biāo)采用
蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易 對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標(biāo),于2024-04-29在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式,現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項目概況:品目1設(shè)備名稱:氧化清洗濕臺設(shè)備數(shù)量:1臺設(shè)備用途:本設(shè)備適用于八寸晶圓濺射前清洗、氧化清洗、鍵合工藝,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和鹽酸溶液通過化學(xué)反應(yīng)達(dá)到清洗晶圓表面的目的。品目2設(shè)備名稱:標(biāo)準(zhǔn)清洗濕臺設(shè)備數(shù)量:2臺設(shè)備用途:本設(shè)備適用于八寸晶圓濺射前清洗、氧化清洗、鍵合工藝,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和鹽酸溶液通過化學(xué)反應(yīng)達(dá)到清洗晶圓表面的目的。品目3設(shè)備名稱:硫酸去膠濕臺設(shè)備數(shù)量:1臺設(shè)備用途:本設(shè)備適用于八寸晶圓光刻膠去除清洗工藝,采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通過化學(xué)反應(yīng)達(dá)到光刻膠去除、清洗的作用。品目4設(shè)備名稱:有機去膠濕臺設(shè)備數(shù)量:1臺設(shè)備用途:本設(shè)備適用于八寸晶圓聚合物去除工藝,采用EKC溶液和NMP溶液通過化學(xué)反應(yīng)達(dá)到去除聚合物和光刻膠的目的。品目5設(shè)備名稱:BOE濕臺設(shè)備數(shù)量:1臺設(shè)備用途:本設(shè)備適用于八寸晶圓二氧化硅腐蝕、氮化硅腐蝕工藝,采用HF、NH4F、H3PO4溶液通過化學(xué)反應(yīng)達(dá)到腐蝕二氧化硅和氮化硅的目的。資金到位或資金來源落實情況:已到位項目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項目編號:0664-2440SUMECF20/02招標(biāo)項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之氧化清洗濕臺、標(biāo)準(zhǔn)清洗濕臺、硫酸去膠濕臺、有機去膠濕臺、BOE濕臺 項目實施地點:中國安徽省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
序號 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡要技術(shù)規(guī)格備注
1 氧化清洗濕臺 1 氣壓控制:具有氮氣、CDA、排風(fēng)具備壓力監(jiān)控功能。其他參數(shù)詳見第八章
2 標(biāo)準(zhǔn)清洗濕臺 2 水氣槍:配有進口PP水氣槍。其他參數(shù)詳見第八章
3 硫酸去膠濕臺 1 測漏感知:設(shè)備底部配有防漏盤和漏液傳感器檢測漏液,防漏盤上的漏液能通過排放端口排走。其他參數(shù)詳見第八章
4 有機去膠濕臺 1 移門:有機玻璃移門,配有檢測門開傳感器,具有聯(lián)動互鎖功能。其他參數(shù)詳見第八章
5 BOE濕臺 1 定位其他參數(shù)詳見第八章
3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:① 投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè),提供企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書,如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊登記證。② 投標(biāo)方可以是設(shè)備制造廠商或設(shè)備再制造廠商,也可以是設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需具有設(shè)備制造廠商的有效授權(quán)書。③ 投標(biāo)人開戶行開具的,出具日期在開標(biāo)前三個月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。④ 投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力(提供承諾書,格式自理)。⑤ 單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書原件。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)(www.dlztb.com)上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件!

項目 聯(lián)系人:李楊  
咨詢電話:010-51957458 
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備注:欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后,查看項目業(yè)主,招標(biāo)公告,中標(biāo)公示等,并下載資格預(yù)審范圍,資質(zhì)要求,招標(biāo)清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo),具體要求及購買標(biāo)書操作流程按公告詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn),以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。

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