掃描電子顯微鏡系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目招標(biāo)公告
受中汽院(江蘇)汽車工程研究院 的委托,對(duì)掃描電子顯微鏡系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)招標(biāo),現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1.項(xiàng)目概況1.1招標(biāo)內(nèi)容:掃描電子顯微鏡系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目,詳見(jiàn)第八章“貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”。
1.2資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:資金已到位,資金來(lái)源為企業(yè)自籌
1.3項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備
2.招標(biāo)內(nèi)容2.1招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0701-254208060023
2.2招標(biāo)項(xiàng)目用途:掃描電子顯微鏡(Scanningelectronmicroscope,SEM)在半導(dǎo)體芯片失效分析領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價(jià)值。其工作原理是通過(guò)聚焦電子束掃描測(cè)試樣品表面,激發(fā)材料產(chǎn)生二次電子信號(hào)。通過(guò)對(duì)二次電子信號(hào)進(jìn)行采集和分析,可獲得樣品表面材料結(jié)構(gòu)信息及材料襯度特征。SEM具有優(yōu)異的成像性能,其圖像分辨率可達(dá)1nm量級(jí),特別適用于半導(dǎo)體芯片中納米級(jí)結(jié)構(gòu)的表征與分析。
2.3項(xiàng)目實(shí)施
交貨期:整個(gè)項(xiàng)目的實(shí)施周期為8個(gè)月,中標(biāo)人須在設(shè)備到貨后2周內(nèi)完成設(shè)備(系統(tǒng))的安裝調(diào)試工作。
3.投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人必須領(lǐng)購(gòu)本招標(biāo)文件。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受。
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