投標邀請

金屬膜及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)項目已具備招標條件。招標項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：金屬膜及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)

1.2 招標編號：0779-25400341A051

1.3項目概況：

本次金屬及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)設(shè)備招標采購旨采滿足科研生產(chǎn)需求，其包含全自動綜合反應(yīng)離子刻蝕機1臺和金屬膜干法刻蝕機1臺，其中全自動綜合反應(yīng)離子刻蝕機包含SiO2工藝腔和LN工藝腔各1個，金屬膜干法刻蝕機包含金屬工藝腔1個、去膠工藝腔1個。更多指標詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

金屬及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)主要技術(shù)指標如下：

1. SiO2工藝腔：刻蝕速率≥200nm/min（SiO2）；選擇比≥1.5(SiO2：PR)；側(cè)壁傾角≥80°（要求PR側(cè)壁傾角≥80°）；片內(nèi)均勻性≤3%；深寬比≥3:1（SiO2，2um線寬）；

2. LN工藝腔：刻蝕速率≥50nm/min；選擇比≥0.5(LN：PR)；側(cè)壁傾角≥75°（要求PR側(cè)壁傾角≥80°）；片內(nèi)均勻性≤5%；

3. 金屬工藝腔：刻蝕速率≥400nm/min（Al）；選擇比≥2(Al：PR)；側(cè)壁傾角≥80°；片內(nèi)均勻性≤5%；

4. 去膠腔：去膠速率≥500nm/min；片內(nèi)均勻性≤10%；片間均勻性≤3%；

1.4 數(shù)量：1套。

1.5 交貨期：合同簽訂后8個月內(nèi)到貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人必須是響應(yīng)招標的法人或其他組織，具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯(lián)合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構(gòu)

3. 招標文件獲取

3.1 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標人(代理機構(gòu))確認后，才能獲得招標文件的下載權(quán)限。

3.3 投標人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。

4.
未在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后的在 招標會員 區(qū)根據(jù)招標公告的相應(yīng)說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網(wǎng)
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)及商務(wù)信息服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，
招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區(qū)招標信息詳細內(nèi)容為準。
編輯：ebid.eavic